TC Wafer
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TC Wafer

TC Wafer 是温度传感器直接镶嵌在晶圆表面，对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点可以获知特定晶圆位置的真实温度测量值以及整体晶圆温度分布:同时可以实时监控控温过程的温度变化，实现升温、降温过程以及恒温过程期间的温度数据。并可获知炉温温度的均匀度。

TC Wafer 产品简介

 

基本配置

项目 指标
晶片尺寸 2、3、4、6、8、12 英寸
测温点数量 34 点及以下
TC 线径 0.127mm、0.254mm
热电偶型号 K型(精度:0.4%)，温度范围 0-800℃
晶圆材质 硅片
扩展线 密封的扁平电缆，可在大气中打到10-7托。
绝缘材料 L1:陶瓷纤维
温度精度 ±1.1℃

测温数据显示

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基本配置

项目 指标
晶片尺寸 2、3、4、6、8、12 英寸
测温点数量 34 点及以下
TC 线径 0.127mm、0.254mm
热电偶型号 K型(精度:0.4%)，温度范围 0-800℃
晶圆材质 硅片
扩展线 密封的扁平电缆，可在大气中打到10-7托。
绝缘材料 L1:陶瓷纤维
温度精度 ±1.1℃

 

 

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